시료 상태액체, 고체

시료 용액이 ICP에 도입되면 6000K 정도의 플라즈마에 의해 금속 성분들이 이온화되고, 이 이온화된 원소를 질량대 전하비(m/z)에 따라 분리하여 얻은 질량 스펙트럼 및 이 스펙트럼의 세기로부터 각 원소를 정성 및 정량 분석하는 방법.

플라즈마를 생성시키는 장치와 시료주입장치는 ICP-AES와 동일하지만 ICP-AES에 비해 가용 물질(TDS)의 양이 훨씬 적은 1000 mg/L 이하의 용액을 분무시키는 것이 다름.

반도체 시료의 극미량 불순물 분석

철강 시료의 미량 첨가물 성분 분석

식품, 농산물 시료의 유해 중금속 분석

물(수질), 온천수 시료의 미네랄 성분 분석

극미량 원소 분석을 필요로 하는 산업 전분야의 모든 시료