시료 상태박막/필름, 분말 시료

시료양 및 크기박막/필름-15mm*10mm 이상(분석 목적에 따라서 40mm*20mm 이상이 요구될 수 있음), 분말-1g

고출력을 낼 수 있는 회전식 X-선원 사용

평행빔을 사용하며, 정밀한 각도 분해능을 가진 단결정(monochromator crystal)으로 입사 X-선의 파장 또는 발산하는 정도를 아주 좁게 제한시켜 단색화된 X-선을 이용(단결정 analyzer를 장착하면 더욱 단색화됨)

고니오의 구성에 따라서 대칭/비대칭의 out-of-plane 방향 측정 및 In-plane 방향 측정 가능

X-선은 물질에 따라 수 ㎛ 까지 침투하므로 두께가 수 nm 정도의 얇은 박막에 X-선을 조사할 경우 기판의 강한 회절선에 가려져 박막의 회절선을 관찰하기 어려움

고분해능 XRD를 활용하면 기판의 강도는 최소화하고 박막의 강도는 향상시킬 수 있음

알맞은 고니오 구성과 특수기법을 활용하면 박막층의 결정상 확인이 가능하며, 우선배향성, 격자 왜곡, 방향성 관계 등과 같은 3차원적 박막 구조 정보를 얻을 수 있음 (GIXRD, In-plane, Rocking curve, RSM, Pole figure 등)

X-선을 반사시킬 수 있는 박막의 경우, 반사율을 측정(XRR 기법)하여 박막의 두께 등 분석 가능

저각에서의 회절 또는 산란을 측정하여 SAXS 분석 가능

반도체, 전자소재 등의 박막 특성 평가

• 결정형 박막의 결정상 확인(phase identification)
• 우선 배향성 확인(texture, preferred orientation)
• 격자 왜곡(strain)
• 초박막의 결정상 확인
• 다층 박막의 depth profiling 분석 등

결정형 또는 비결정형 박막 시료의 두께 분석(단, X-선을 반사시킬 수 있는 물질만 가능)

다목적용 HR-XRD로 SAXS 구현 가능