시료 상태액체, 고체
시료양 및 크기액체시료 100㎕ 이상, 고체시료 1cm 이하
W에 ZrO2를 코팅한 Schottky 전계방사형 (field emission) 전자총은 열방사형 전자총 보다 수백~수천배 정도의 높은 휘도(Brightness) 및 수 nm의 전자빔을 얻을 수 있으므로 고분해능의 측정이 가능.
저온에서 냉각된 상태로 시료를 관찰하는 장비인 Cryo System이 부착되어 있어 상온에서 연성을 띄는 재료 등의 파단면을 쉽게 얻을 수 있으므로 그 내부 구조의 관찰에 적합.
Cryo-FE-SEM은 급속 동결법을 이용한 고정 과정을 통해 전처리 시간을 단축시키고 고정 과정중의 변형을 최소화시킴으로써 수분을 함유하는 시료를 가장 자연 상태에 가깝게 분석 가능함.
생물학 및 의학생체 시료의 고해상도 구조 분석, 세포 표면의 Pili및 Membrane 형태 관찰
식품학유산균음료 균, 아이스크림 등의 미세조직(Microstructure) 관찰
재료학화장품 입자의 크기 및 형태 분석(Oil-water emulsion), 열에 약한 고분자 표면 및 구조 분석
시멘트 공업시멘트 수화물의 형태 관찰
페인트 공업페인트 원료, 무기안료 등의 입자 형상과 크기 관찰
FE-SEM | Cryo Preparation System | ||
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Model | TESCAN MIRA3 LMU | Model | Quorum Technologies PP3000T |
Electron gun | High brightness Schottky emitter | Temp. range | +50 ℃ ~ -192 ℃ |
Resolution | 1.2 nm at 30 kV (SE), 1.0 nm at 30 kV (In-Beam SE) | Cold Magnetron Sputter Coater | Pt target |
Accelerating Voltage | 0.2 kV to 30 kV | ||
Magnification | ~ x500,000 | ||
Probe current | 2 pA to 200 nA | ||
Chamber | Internal diameter 230 mm / Door width 148 mm | ||
Specimen stage | Fully motorized |