시료 상태고체 (분말 또는 필름 형태, 비휘발성), 액체 시료

시료양 및 크기분말시료 최소 5 g, 액체시료 최소 5ml, 필름시료 지름 40mm

시료에 X선을 조사해 2차적으로 발생하는 X선(형광 X선)을 이용하여 Na(z=11)에서 U(z=92)까지의 전 원소를 수십 %에서 ppm 정도의 미량성분까지의 넓은 범위에 걸쳐 정성·정량 분석.

입사된 X-선이 K Shell의 전자와 충돌하여 그 전자를 궤도에서 밀쳐내게 되면 해당 궤도의 전자는 비어 있게 됨. 비어있는 K Shell로 외각의 전자가 이동하면 K Shell과 외각의 에너지 차이에 해당하는 형광 X-선이 발생.

형광 X-선은 각 원소마다 고유한 X선 에너지를 가지고 있기 때문에 원소분석에 이용.

일반적으로 측정 시료에 대한 화학적 전처리를 필요로 하지 않으며, 분말, 고체 및 액체 시료의 측정이 가능.

경원소의 경우 5~10 wt% 이상 함유되어야 검출가능.

Peak overlap이 되는 원소의 경우 분석이 어려움.

산업용 소재, 금속, 화합물, 복합재료 등의 조성 분석

제품 공정관리, 소재 개발을 위한 분석 및 평가

생물학적, 의학적 시료의 분석

환경 관련 시료 분석

고고학 및 박물관 자료의 분석