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Energy Dispersive X-ray Fluorescence SpectrometerED-XRF (에너지 분산형 X-선 형광분석기)

  • Model Thermo/ARL QUANT’X
  • 담당자 현상화 / 042-860-7723
    임은수 / 042-860-7715
  • 기기실 104호
  • 시료 정보

    시료 상태고체 (분말 또는 필름 형태, 비휘발성), 액체 시료

    시료양 및 크기분말시료 최소 5 g, 액체시료 최소 5ml, 필름시료 지름 40mm

  • 원리 및 특징

    시료에 X선을 조사해 2차적으로 발생하는 X선(형광 X선)을 이용하여 Na(z=11)에서 U(z=92)까지의 전 원소를 수십 %에서 ppm 정도의 미량성분까지의 넓은 범위에 걸쳐 정성·정량 분석.

    입사된 X-선이 K Shell의 전자와 충돌하여 그 전자를 궤도에서 밀쳐내게 되면 해당 궤도의 전자는 비어 있게 됨. 비어있는 K Shell로 외각의 전자가 이동하면 K Shell과 외각의 에너지 차이에 해당하는 형광 X-선이 발생.

    형광 X-선은 각 원소마다 고유한 X선 에너지를 가지고 있기 때문에 원소분석에 이용.

    일반적으로 측정 시료에 대한 화학적 전처리를 필요로 하지 않으며, 분말, 고체 및 액체 시료의 측정이 가능.

    경원소의 경우 5~10 wt% 이상 함유되어야 검출가능.

    Peak overlap이 되는 원소의 경우 분석이 어려움.

  • 용도 및 활용분야

    산업용 소재, 금속, 화합물, 복합재료 등의 조성 분석

    제품 공정관리, 소재 개발을 위한 분석 및 평가

    생물학적, 의학적 시료의 분석

    환경 관련 시료 분석

    고고학 및 박물관 자료의 분석

  • 보유장비 및 주요규격

    Model Thermo/ARL QUANT’X
    X-ray tube Rh
    Max power 50 kV, 1.98 mA
    Detector Si(Li) crystal with Peltier cooling
    Energy resolution < 155 eV
    Atmosphere Air, Vacuum, He
    Analytical element Na (z=11) ~ U (z=92)
    Analytical method Empirical Method (EM), Fundamental Parameter (FP)

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