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보유장비

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      Energy Dispersive X-ray SpectrometerEDS (에너지 분산형 X-선 분광분석기)

      • Model Bruker Quantax 200
      • 담당자 현상화 / 042-860-7723
      • 기기실 103호 / 104호

      • 시료 정보

        시료 상태고체 (분말 또는 필름 형태, 비휘발성)

        시료양 및 크기분말시료 최소 50 mg, Maximum size 2 ~ 3 (cm)

      • 원리 및 특징

        전자빔을 시료에 주사할 때 시료에서 발생되는 특성 X선을 반도체 소자를 이용하여 에너지 형태로 검출하는 장비로서 일반적으로 주사전자현미경에 부착하여 사용.

        연속 X선 (Continuous X-ray): 원자핵과 내각 전자에 의해 형성된 Coulombic field가 입사된 전자의 속도를 늦추어 연속 X-선을 생성하며 spectrum의 background를 형성.

        특성 X선 (Characteristic X-ray): 내각 전자의 이온화에 의해 생성되며, 내각 전자가 방출되어 생긴 빈자리를 외각전자가 천이하여 채우면서 그 에너지 차이를 가지는 특성 X-선을 생성.

        전 범위의 에너지 영역에서 원소 성분을 동시에 분석할 수 있고, 시편 준비가 비교적 쉬우며 데이터 수집 시간이 빠름.

        Spectrum에 의한 구성 원소 분석 및 Line scanning, Mapping 등에 의한 원소 분포 분석이 가능.

        성분이 0.1~1 wt% 이상 함유되어야 검출 가능.

        불균일한 시료의 경우, 측정위치에 따라 오차발생.

        X-ray 탈출 깊이(수 ㎛)로 인하여 극미소 시료 측정 불가능.

      • 용도 및 활용분야

        Powder, Bulk, 박막 시료에 대한 구성 원소의 정성 및 정량 분석

        금속, 광물, 세라믹, 반도체, 플라스틱, 고무 시료 등의 조성 분석

        시료 성분 원소의 분포도 분석 (Point, Line scan, Mapping)

        Multilayer 시료의 각 Layer의 성분 분석

        침투물질, 부식상태, 코팅 재료의 성분 분석

        재료 Alloy 식별

      • 보유장비 및 주요규격

        Model XFlsh 5010, 4010
        Energy resolution 123 eV, 127 eV at Mn Kα
        Detector Si Drift Detector (SDD)
        Active area 10 mm2
        Analytical element B (z=5) ~ Am (z=95)
        Detection limit > 0.1 %


        Model XFlash 6|60
        Energy resolution 126 eV at Mn Kα
        Detector Si Drift Detector (SDD)
        Active area 60 mm2
        Analytical element Be (z=4) ~ Cf (98)
        Detection limit > 0.1 %


        Model XFlash FlatQUAD
        Energy resolution 127 eV at Mn Kα
        Detector Si Drift Detector (SDD)
        Active area 60 mm2(4 x 15 mm2)
        Analytical element B (z=5) ~ Am (z=95)
        Detection limit > 0.1 %

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