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      Laser Ablation-Inductively Coupled Plasma-Mass SpectrometerLA-ICP-MS (레이저 절삭 유도결합 플라즈마-질량분석기)

      • Model Tandem LA-LIBS
      • 담당자 송영철 / 042-860-7710
      • 기기실 206호

      • 시료 정보

        시료 상태고체시료

        시료 양 및 크기분말 > 1g

      • 원리 및 특징

        레이져 절삭 유도결합 플라즈마 질량분석기는 대기압 수준에서 화학적 전처리 없이 금속, 세라믹, 전자재료, 반도체 시료, 필름 등에 대해 직접 고감도 원소분석이 가능

        유도결합 플라즈마 질량분석기, 레이져 절삭장비, LIBS (Laser Induced Breakdown Spectroscopy) 결합하여 동시 분석이 가능하며, 기존 장비로 분석이 어려웠던 고체 시료 표면의 중금속과 경원소 분석이 동시에 가능.

        (LA-LIBS) 레이저 어블레이션(Laser Ablation)은 레이저를 시료표면에 조사하여 시료를 용융 또는 증발시켜 플라즈마를 만들고 그 결과로 발산된 방출선을 측정하여 정성 및 정량 분석하는 방법

        (ICP-MS) 시료 용액이 ICP에 도입되면 6000K 정도의 플라즈마에 의해 금속 성분들이 이온화되고, 이 이온화된 원소를 질량대 전하비(m/z)에 따라 분리하여 얻은 질량 스펙트럼 및 이 스펙트럼의 세기로부터 각 원소를 정성 및 정량 분석하는 방법.

      • 용도 및 활용분야

        반도체 시료의 극미량 불순물 분석

        철강 시료의 미량 첨가물 성분 분석

        식품, 농산물 시료의 유해 중금속 분석

        물(수질), 온천수 시료의 미네랄 성분 분석

        극미량 원소 분석을 필요로 하는 산업 전분야의 모든 시료

      • 보유장비 및 주요규격

        ( ICP-MS )  
        Model Thermo Fisher Scientific iCAP TQ
        ICP Source 27.12 MHz, Solid state, Crystal control type
        Ion Focus Infinity Ion Lense
        Mass Analyzer Quadrupole type
        Mass Range 2~255 amu
        Detector Discrete dynode electron multiplier(ETP) Dual mode


        ( LA-LIBS )  
        Model Applied Spectra J200 Tandem Laser Induced Breakdown Spectroscopy
        Laser wavelength 266 nm Nd:YAG nanosecond pulsed laser
        Detecter CCD based broadband spectrometer
        Spectrometer range 190~1040 nm
        Detect element H-Pu

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