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보유장비

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      Atomic Force Microscope
      (AFM, 원자힘현미경)

      • Model JPK NanoWizard III
      • 담당자 최민석 / 042-860-7487 /mschoi@krict.re.kr
      • 기기실 W4동 309호

      • 시료 정보

        시료 상태고체시료, 액체시료, Film

        시료양 및 크기 >10 mg / >수십 μm

      • 원리 및 특징

        탐침(cantilever tip)과 시료 표면 간의 상호작용 힘을 측정 표면 형상을 나노미터 수준 해상도로 재현

        3차원 표면 이미지 제공

        비전도성 및 연성 시료 분석 가능

        접촉/비접촉/Tapping 모드 지원

      • 용도 및 활용분야

        반도체, 전자소재 등의 박막 특성 평가

        • 나노소재 표면 거칠기·입자 크기 분석
        • 고분자 및 박막 위상/물성 측정

      • 보유장비 및 주요규격

        Model JPK NanoWizard III
        탐침 종류 Si, SiN 등 다양한 Cantilever 사용 가능
        스캔 범위(X, Y) 최대 100 μm × 100 μm
        Z 축 스캔 범위 최대 15 μm
        XY 해상도 < 0.1 nm
        Z 해상도 < 0.05 nm
        Measurement Mode Contact, Tapping, QI™ (Quantitative Imaging), Force Spectroscopy 등

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